东方晶源微电子申请工作台运动参数校正方法和半导体制造设备专利实现提0杏彩体育-官方投注平台实时赔率足球篮球电竞一站式体验高工作台运动控制精度
发布时间:2025-08-19 16:21:44 浏览:
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杏彩体育,杏彩平台,杏彩,杏彩娱乐,杏彩体育APP,杏彩体育官方网站,体育投注平台,足球下注,电竞赔率,注册彩金金融界2025年8月19日消息,国家知识产权局信息显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请一项名为“工作台运动参数校正方法和半导体制造设备”的专利,公开号CN120511213A,申请日期为2025年05月。
专利摘要显示,本发明提供了一种工作台运动参数校正方法和半导体制造设备,校正方法包括控制工作台沿设定直线方向移动,并测量出工作台在预设参考坐标系中第一坐标轴方向上的校正样本行程和第二坐标轴方向上的偏摆样本位移;其中第一坐标轴方向和设定直线方向之间是映射对应的;根据校正样本行程和偏摆样本位移,确定设定直线方向相对于第一坐标轴方向的偏摆参数;根据偏摆参数构建偏摆校正策略,偏摆校正策略用于对工作台在第一坐标轴方向或第二坐标轴方向上的目标移动量进行校准。
天眼查资料显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司,成立于2014年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目23次,财产线条,此外企业还拥有行政许可18个。